文献
J-GLOBAL ID:201002299991919285
整理番号:10A1096010
セリアコーティング珪石粒子の合成と特性化とガラス基板に対するそれらの化学機械研摩性能
Synthesis, characterization of ceria-coated silica particles and their chemical mechanical polishing performance on glass substrate
著者 (9件):
ZHANG Zefang
(State Key Lab. of Functional Materials for Informatics, Lab. of Nanotechnology, Shanghai Inst. of Microsystem and ...)
,
ZHANG Zefang
(Shanghai Xinanna Electronic Technol. Co., Ltd., Shanghai 201506, CHN)
,
ZHANG Zefang
(Graduate School of the Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100049, CHN)
,
LIU Weili
(State Key Lab. of Functional Materials for Informatics, Lab. of Nanotechnology, Shanghai Inst. of Microsystem and ...)
,
LIU Weili
(Shanghai Xinanna Electronic Technol. Co., Ltd., Shanghai 201506, CHN)
,
ZHU Jingkang
(State Key Lab. of Functional Materials for Informatics, Lab. of Nanotechnology, Shanghai Inst. of Microsystem and ...)
,
ZHU Jingkang
(Shanghai Xinanna Electronic Technol. Co., Ltd., Shanghai 201506, CHN)
,
SONG Zhitang
(State Key Lab. of Functional Materials for Informatics, Lab. of Nanotechnology, Shanghai Inst. of Microsystem and ...)
,
SONG Zhitang
(Shanghai Xinanna Electronic Technol. Co., Ltd., Shanghai 201506, CHN)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
257
号:
5
ページ:
1750-1755
発行年:
2010年12月15日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)