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文献
J-GLOBAL ID：201102201051055913
整理番号：11A0128985
周期的加熱及び冷却中のスパッタした厚いAl-Si膜の変形挙動に及ぼす集合組織及び結晶粒サイズの効果
Effect of Texture and Grain Size on the Deformation Behavior of Sputtered Thick Al-Si Films during Cyclic Heating and Cooling
KUROSU T.
(Power and Industrial Div., Hitachi Ltd.)
,
KUROSU T.
(Graduate School of Sci. and Engineering, Ibaraki Univ.)
,
SHIMIZU Y.
(Graduate School of Sci. and Engineering, Ibaraki Univ.)
,
TOMOTA Y.
(Inst. of Applied Beam Sci., Graduate School of Sci. and Engineering/Frontier Res. Center for Applied Atomic Sciences ...)
,
ONUKI J.
(Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Ibaraki Univ.)
資料名：
Materials Transactions
(Materials Transactions)
巻： 52 号： 1 ページ： 102-107 (J-STAGE) 発行年： 2011年
JST資料番号： G0668A ISSN： 1345-9678 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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