文献
J-GLOBAL ID:201102203810055411
整理番号:11A1007806
ケイ素の窒化に及ぼす添加物の影響
Influence of Additives on the Nitridation of Silicon
著者 (2件):
LEE Yu-Ching
(National Taiwan Univ., Taipei, TWN)
,
TUAN Wei-Hsing
(National Taiwan Univ., Taipei, TWN)
資料名:
日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集
(Abstracts. Fall Meeting of the Ceramic Society of Japan)
巻:
23rd (CD-ROM)
ページ:
ROMBUNNO.S14-P017
発行年:
2010年11月14日
JST資料番号:
L2240A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)