前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201102206178599590
整理番号：11A0857487
(メチルシクロペンタジエニル)トリメチル・プラチナとO2プラスマを用いたAl2O3基板上のPt原子層堆積の核生成と成長
Nucleation and growth of Pt atomic layer deposition on Al2O3 substrates using (methylcyclopentadienyl)-trimethyl platinum and O2 plasma
BAKER L.
(Dep. of Chemistry and Biochemistry and Dep. of Chemical and Biological Engineering, Univ. of Colorado, Boulder ...)
,
CAVANAGH A. S.
(Dep. of Chemistry and Biochemistry and Dep. of Chemical and Biological Engineering, Univ. of Colorado, Boulder ...)
,
SEGHETE D.
(Dep. of Chemistry and Biochemistry and Dep. of Chemical and Biological Engineering, Univ. of Colorado, Boulder ...)
,
GEORGE S. M.
(Dep. of Chemistry and Biochemistry and Dep. of Chemical and Biological Engineering, Univ. of Colorado, Boulder ...)
,
MACKUS A. J. M.
(Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD)
,
KESSELS W. M. M.
(Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD)
,
LIU Z. Y.
(General Motors Res. and Dev., Honeoye Falls, New York 14472, USA)
,
WAGNER F. T.
(General Motors Res. and Dev., Honeoye Falls, New York 14472, USA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 109 号： 8 ページ： 084333 発行年： 2011年04月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。