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文献
J-GLOBAL ID：201102207686970012
整理番号：11A0944994
水晶のための二次元異方性ウエットエッチングシミュレータ
A Two-dimensional Anisotropic Wet Etching Simulator for Quartz Crystal
ZHAO Meng
(The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.)
,
WANG Jiani
(The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.)
,
OIGAWA Hiroshi
(The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.)
,
JI Jing
(The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.)
,
HAYASHI Hisanori
(The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.)
,
UEDA Toshitsugu
(The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 131 号： 5 ページ： 185-188 (J-STAGE) 発行年： 2011年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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