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文献
J-GLOBAL ID：201102208348847694
整理番号：11A0467219
並列マイクロプラズマエッチングのためのナノアパーチュア中空チップを有するカンチレバーアレイの作製
Fabrication of cantilever arrays with nano-aperture hollow tips for parallel microplasma etching
XIANG W.W.
(Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN)
,
WEN L.
(Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN)
,
ZHANG Q.P.
(Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN)
,
CHU J.R.
(Univ. Sci. and Technol. of China, Anhui, CHN)
,
WANG H.
(Anhui Univ. Technol. and Sci., Anhui, CHN)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 87 号： 12 ページ： 2475-2481 発行年： 2010年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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