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文献
J-GLOBAL ID：201102211131810904
整理番号：11A0918050
ナノ機械膜型表面応力センサ
Nanomechanical Membrane-type Surface Stress Sensor
YOSHIKAWA Genki
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
,
AKIYAMA Terunobu
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE)
,
GAUTSCH Sebastian
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE)
,
VETTIGER Peter
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE)
,
ROHRER Heinrich
資料名：
Nano Letters
(Nano Letters)
巻： 11 号： 3 ページ： 1044-1048 発行年： 2011年03月
JST資料番号： W1332A ISSN： 1530-6984 CODEN： NALEFD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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