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文献
J-GLOBAL ID：201102212951261170
整理番号：11A0300862
DCパルスマグネトロンによって調製した透明酸化物の光学的および機械的性質の最適化
Optimization of the Optical and Mechanical Properties of Transparent Oxide Films Prepared by DC Pulsed Magnetron
BERASATEGUI E. G.
(Tekniker Res. Centre Eibar, Guipuzcoa, ESP)
,
BARRIGA J.
(Tekniker Res. Centre Eibar, Guipuzcoa, ESP)
資料名：
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 53rd ページ： 365-369 発行年： 2010年
JST資料番号： E0063B ISSN： 0737-5921 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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