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文献
J-GLOBAL ID:201102213743884349   整理番号:11A1600496

CNT実装MEMS共振型ガスセンサの開発

著者 (8件):
岸原宏幸
(神戸大 大学院工学研究科)
原拓也
(神戸大 大学院工学研究科)
ZHENG Bin
(奈良先端科学技術大学院大)
浦岡行治
(奈良先端科学技術大学院大)
山下一郎
(奈良先端科学技術大学院大)
松塚直樹
(立命館大)
花崎逸雄
(神戸大 大学院工学研究科)
磯野吉正
(神戸大 大学院工学研究科)

資料名:
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))

巻: 28th  ページ: ROMBUNNO.P4-1  発行年: 2011年09月26日 
JST資料番号: X0768B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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