文献
J-GLOBAL ID:201102216204657400
整理番号:11A0404446
AFMによる特性評価用の超薄親和性カンチレバーの微細製造用の新しい方法
A novel technique for microfabrication of ultra-thin affinity cantilevers for characterization with an AFM
著者 (3件):
JOSHI Manoj
(Indian Inst. Technol. Bombay, Mumbai, IND)
,
RAO V Ramgopal
(Indian Inst. Technol. Bombay, Mumbai, IND)
,
MUKHERJI Soumyo
(Indian Inst. Technol. Bombay, Mumbai, IND)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
20
号:
12
ページ:
125007,1-8
発行年:
2010年12月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)