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文献
J-GLOBAL ID：201102217805834950
整理番号：11A0560516
X線回折を用いたマイクロエレクトロニクス素材のナノスケール歪特性評価
Nanoscale strain characterization in microelectronic materials using X-ray diffraction
MURRAY Conal E.
(I.B.M. T.J. Watson Res. Center, New York)
,
YING A. J.
(Columbia Univ., New York)
,
POLVINO S. M.
(Columbia Univ., New York)
,
NOYAN I. C.
(Columbia Univ., New York)
,
CAI Z.
(Argonne National Lab., Illinois)
資料名：
Powder Diffraction
(Powder Diffraction)
巻： 25 号： 2 ページ： 108-113 発行年： 2010年06月
JST資料番号： T0527A ISSN： 0885-7156 CODEN： PODIE2 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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