文献
J-GLOBAL ID:201102217845106770
整理番号:11A1208386
マイクロデバイスパッケージング用マイクロカンチレバーの光熱励起と干渉検出に基づく圧力測定
Pressure Measurement Based on Photothermal Excitation and Interferometric Detection of Micro-cantilevers for Micro-device Packaging
著者 (4件):
YAMAMOTO S.
(Univ. of Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HIGURASHI E.
(Univ. of Tokyo)
,
SUGA T.
(Univ. of Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SAWADA R.
(Kyushu Univ.)
資料名:
International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM)
(International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM))
巻:
2010
ページ:
ROMBUNNO.FC1-2
発行年:
2010年05月12日
JST資料番号:
L6010B
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)