文献
J-GLOBAL ID:201102218145995723
整理番号:11A0467019
ポリスチレンナノ球を用いた低コスト鋳型の製作とナノインプリントリソグラフィ
Fabrication of low-cost mold and nanoimprint lithography using polystyrene nanosphere
著者 (8件):
JEONG G.H.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
PARK J.K.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
LEE K.K.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
JANG J.H.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
LEE C.H.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
KANG H.B.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
YANG C.W.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
SUH S.J.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
87
号:
1
ページ:
51-55
発行年:
2010年01月
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)