文献
J-GLOBAL ID:201102220303527877
整理番号:11A0951937
有機ケイ酸塩低誘電率材料の酸素プラズマエッチングの第一原理分子動力学シミュレーション
FIRST PRINCIPLE MOLECULAR DYNAMIC SIMULATIONS OF OXYGEN PLASMA ETCHING OF ORGANOSILICATE LOW DIELECTRIC MATERIALS
著者 (2件):
DU Jincheng
(Univ. North Texas, Texas)
,
CHAUDHARI Mrunal
(Univ. North Texas, Texas)
資料名:
Ceramic Engineering & Science Proceedings
(Ceramic Engineering & Science Proceedings)
巻:
31
号:
10
ページ:
119-125
発行年:
2010年
JST資料番号:
E0760B
ISSN:
0196-6219
CODEN:
CESPDK
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)