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文献
J-GLOBAL ID：201102222950914591
整理番号：11A1574139
吸収端波長シフトに基づく半透明シリコンウエハの温度測定
Temperature Measurement of Semitransparent Silicon Wafers Based Upon Absorption Edge Wavelength Shift
IUCHI T.
(Toyo Univ., 350-8585, Kawagoe, Saitama, JPN)
,
SEO T.
(Toyo Univ., 350-8585, Kawagoe, Saitama, JPN)
資料名：
International Journal of Thermophysics
(International Journal of Thermophysics)
巻： 31 号： 8-9 ページ： 1533-1543 発行年： 2010年09月
JST資料番号： D0648B ISSN： 0195-928X CODEN： IJTHDY 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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