文献
J-GLOBAL ID:201102223016877289
整理番号:11A1186861
サブ1nm EOT TDDB評価手法
Methodologies for sub-1nm EOT TDDB evaluation
著者 (8件):
KAUERAUF Thomas
(imec, Leuven, BEL)
,
DEGRAEVE Robin
(imec, Leuven, BEL)
,
RAGNARSSON Lars-Ake
(imec, Leuven, BEL)
,
ROUSSEL Philippe
(imec, Leuven, BEL)
,
SAHHAF Sahar
(imec, Leuven, BEL)
,
GROESENEKEN Guido
(imec, Leuven, BEL)
,
GROESENEKEN Guido
(KU Leuven, Leuven, BEL)
,
O’CONNOR Robert
(Tyndall National Inst., Cork City, IRL)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
2011 Vol.1
ページ:
7-16
発行年:
2011年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)