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文献
J-GLOBAL ID：201102224091383484
整理番号：11A0143255
ゾル溶液に依存したゾル-ゲル誘導及び結晶化HfO2薄膜の特性
Characteristics of Sol-Gel-Derived and Crystallized HfO2 Thin Films Dependent on Sol Solution
SHIMIZU Hirofumi
(Nihon Univ., Fukushima, JPN)
,
NEMOTO Daiki
(Nihon Univ., Fukushima, JPN)
,
IKEDA Masanori
(Nihon Univ., Fukushima, JPN)
,
NISHIDE Toshikazu
(Nihon Univ., Fukushima, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49 号： 12 ページ： 121502.1-121502.8 発行年： 2010年12月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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