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文献
J-GLOBAL ID:201102227005415360   整理番号:11A1103789

炭素膜蒸着の分子動力学研究

Molecular dynamics study on carbon film deposition
著者 (4件):
MURAMOTO T.
(Okayama Univ. of Sci., Ridai-cho 1-1, Okayama 700-0005, JPN)
HYAKUTAKE T.
(Yokohama National Univ., Tokiwadai 79-1, Hodogaya-ku, Yokohama 240-8501, JPN)
NISHIDA M.
(Sojo Univ., Ikeda 4-22-1, Kumamoto 860-0082, JPN)
KENMOTSU T.
(Doshisha Univ., Tatara Miyakodani 1-3, Kyotanabe 610-0394, JPN)

資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)

巻: 269  号: 14  ページ: 1752-1754  発行年: 2011年07月15日 
JST資料番号: H0899A  ISSN: 0168-583X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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