前のページに戻る この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写(冊子体のコピー)をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID:201102227575849134   整理番号:11A0472031

ケイ素の金属援助化学エッチング 総説

Metal-Assisted Chemical Etching of Silicon: A Review
著者 (6件):
HUANG Zhipeng
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
HUANG Zhipeng
(Jiangsu Univ., Zhenjiang, CHN)
GEYER Nadine
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
WERNER Peter
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
DE BOOR Johannes
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)
GOESELE Ulrich
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle, DEU)

資料名:
Advanced Materials  (Advanced Materials)

巻: 23  号:ページ: 285-308  発行年: 2011年01月11日 
JST資料番号: W0001A  ISSN: 0935-9648  CODEN: ADVMEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写(コピー)して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写(コピー)は郵送またはFAXでお送りします

※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。