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J-GLOBAL ID：201102227583490773 整理番号：11A1222023

イオンアシスト蒸着によるフッ素薄膜の密着性改善

Adhesion Improvement of Fluoropolymer Thin Films by Ion-Assisted Vapor Deposition Polymerization

著者 (4件)：

泉田和夫

(東京農工大大学院工学府)

松田剛

(東京農工大大学院工学府)

田中邦明

(東京農工大大学院工学府)

臼井博明

(東京農工大大学院工学府)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 111 号： 110(OME2011 22-33) ページ： 41-46 発行年： 2011年06月23日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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