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文献
J-GLOBAL ID:201102231570443412   整理番号:11A0125197

白金線電極を使用するSiブロックをウエハースにスライスするための電気化学的方法

Electrochemical method for slicing Si blocks into wafers using platinum wire electrodes
著者 (4件):
LEE Chia-lung
(Res. Center for Solar Energy Chemistry, Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN)
KANDA Yuji
(Res. Center for Solar Energy Chemistry, Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN)
IKEDA Shigeru
(Res. Center for Solar Energy Chemistry, Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN)
MATSUMURA Michio
(Res. Center for Solar Energy Chemistry, Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN)

資料名:
Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)

巻: 95  号:ページ: 716-720  発行年: 2011年02月 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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