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文献
J-GLOBAL ID：201102239296768939
整理番号：11A1499811
自己整合性マイクロメカニクスモデルに基づく等方性ポリシリコンの圧電抵抗特性の解析
Analysis of the piezoresistive properties of isotropic polysilicon based on a self-consistent micromechanics model
MATSUZUKA Naoki
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TORIYAMA Toshiyuki
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
Smart Materials and Structures
(Smart Materials and Structures)
巻： 20 号： 8 ページ： 085018,1-8 発行年： 2011年08月
JST資料番号： W0480A ISSN： 0964-1726 CODEN： SMSTER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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