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文献
J-GLOBAL ID：201102241108245120
整理番号：11A0807420
AlOxNy薄膜のイオンビームスパッタ蒸着によるシリコン太陽電池効率の改善
Improvement of silicon solar cell efficiency by ion beam sputtered deposition of AlOxNy thin films
CHEN Sheng-hui
,
HSU Chun-che
,
WANG Hsuan-wen
,
YEH Chi-li
,
TSENG Shao-ze
,
LIN Hung-ju
,
LEE Cheng-chung
,
PENG Cheng-yu
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 50 号： 9 ページ： C392 発行年： 2011年03月20日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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