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文献
J-GLOBAL ID：201102244052783492
整理番号：11A1390538
微分検出法による自己検知圧電アクチュエータ制御を用いた高精度位置決め
High-precision positioning using a self-sensing piezoelectric actuator control with a differential detection method
IKEDA Hideyuki
(Dep. of Human Environmental Studies, Graduate School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo, Kashiwanoha 5-1-5 ...)
,
MORITA Takeshi
(Dep. of Human Environmental Studies, Graduate School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo, Kashiwanoha 5-1-5 ...)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 170 号： 1-2 ページ： 147-155 発行年： 2011年11月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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