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文献
J-GLOBAL ID：201102245942083460
整理番号：11A1250016
マンドレルに基づくパターン化:15nmノード用密度増倍方法
Mandrel Based Patterning: Density multiplication techniques for 15nm nodes
BENCHER Chris
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
DAI Huixiong
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
MIAO Liyan
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
CHEN Yyongmei
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
XU Ping
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
CHEN Yijian
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
OEMARDANI Shiany
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
SWEIS Jason
(Cadence Design Systems, Inc., CA, USA)
,
WIAUX Vincent
(IMEC, Leuven, BEL)
,
HERMANS Jan
(IMEC, Leuven, BEL)
,
CHANG Li-Wen
(Stanford Univ., CA, USA)
,
BAO Xinyu
(Stanford Univ., CA, USA)
,
YI He
(Stanford Univ., CA, USA)
,
WONG H.-S.Philip
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7973 号： Pt.1 ページ： 79730K.1-79730K.10 発行年： 2011年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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