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文献
J-GLOBAL ID：201102246636245819
整理番号：11A1050560
高密度アクチュエータアレイによるピエゾ電気MEMS可変形ミラー
PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY
SATO M.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KANNO I.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KOTERA H.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TABATA O.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 24th Vol.2 ページ： 1265-1268 発行年： 2011年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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