文献
J-GLOBAL ID:201102247643254048
整理番号:11A1459952
側面から集光されるレーザにより駆動されるバイモルフ・カンチレバー
Bimorph Cantilevers Actuated by Focused Laser from the Side
著者 (3件):
TODA Masaya
(Graduate School of Engineering, Tohoku Univ.)
,
INOMATA Naoki
(Graduate School of Engineering, Tohoku Univ.)
,
ONO Takahito
(Graduate School of Engineering, Tohoku Univ.)
資料名:
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻:
131
号:
9
ページ:
327-331 (J-STAGE)
発行年:
2011年
JST資料番号:
L3098A
ISSN:
1341-8939
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)