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文献
J-GLOBAL ID：201102247923386098
整理番号：11A1829783
4H-SiC中での表面欠陥及び付随する不完全性:光学的,構造的及び電気的キャラクタリゼーション
Surface defects and accompanying imperfections in 4H-SiC: Optical, structural and electrical characterization
CHEN Bin
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)
,
MATSUHATA Hirofumi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)
,
SEKIGUCHI Takashi
(National Inst. for Materials Sci., Tsukuba 305-0044, JPN)
,
ICHINOSEKI Kyouichi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)
,
OKUMURA Hajime
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)
資料名：
Acta Materialia
(Acta Materialia)
巻： 60 号： 1 ページ： 51-58 発行年： 2012年01月
JST資料番号： A0316A ISSN： 1359-6454 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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