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文献
J-GLOBAL ID：201102252261887494
整理番号：11A1340804
超大規模異種集積化により作製したCMOS駆動電子回路上1メガ画素単結晶シリコンマイクロミラーアレイ
One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration
ZIMMER Fabian
(Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU)
,
LAPISA Martin
(Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
,
BAKKE Thor
(Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU)
,
BRING Martin
(Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems (IPMS), Dresden, DEU)
,
STEMME Goeran
(Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
,
NIKLAUS Frank
(Royal Inst. Technol. (KTH), Stockholm, SWE)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 20 号： 3 ページ： 564-572 発行年： 2011年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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