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文献
J-GLOBAL ID：201102254121522650
整理番号：11A0162007
プラズマおよびウエット化学プロセスによるSU-8の表面親水化
Surface hydrophilization of SU-8 by plasma and wet chemical processes
WALTHER Ferdinand
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
,
DROBEK Tanja
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
,
GIGLER Alexander M.
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
,
HENNEMEYER Marc
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
,
KAISER Michael
(Munich Univ. Applied Sci., Munich, DEU)
,
HERBERG Helmut
(Munich Univ. Applied Sci., Munich, DEU)
,
SHIMITSU Tetsuji
(Max-Planck-Inst. extraterrestrische Physik, Garching, DEU)
,
MORFILL Gregor E.
(Max-Planck-Inst. extraterrestrische Physik, Garching, DEU)
,
STARK Robert W.
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
資料名：
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻： 42 号： 12/13 ページ： 1735-1744 発行年： 2010年12月
JST資料番号： E0709A ISSN： 0142-2421 CODEN： SIANDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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