文献
J-GLOBAL ID:201102254656176921
整理番号:11A1123615 滑り電極をもつシリコンビームマイクロエレクトロメカニカルシステム共振器
Silicon Beam Microelectromechanical Systems Resonator with a Sliding Electrode
著者 (4件): OKA Tomohiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
ISHINO Takuya
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TANIGAWA Hiroshi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Kenichiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
50
号:
6,Issue 2
ページ:
06GH02.1-06GH02.8
発行年:
2011年06月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)