文献
J-GLOBAL ID:201102255192892021
整理番号:11A1575844
リバースc軸AlN薄膜の特性化
Characterization of Reversed c-axis AlN Thin Films
著者 (3件):
LARSON John D., III
(Avago Technol., CA)
,
MISHIN Sergey
(Advanced Modular Systems, CA, USA)
,
BADER Stefan
(Avago Technol., CO, USA)
資料名:
IEEE International Ultrasonics Symposium
(IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻:
2010 Vol.2
ページ:
1054-1059
発行年:
2010年
JST資料番号:
A0437C
ISSN:
1948-5719
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)