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文献
J-GLOBAL ID：201102257184591422
整理番号：11A0306630
タイプII InAs/GaSb超格子赤外検出器のためのドライエッチングと表面不導態化の技術
Dry etching and surface passivation techniques for type-II InAs/GaSb superlattice infrared detectors
TAN Siew Li
(Univ. Sheffield, Sheffield, GBR)
,
GOH Yu Ling
(Univ. Sheffield, Sheffield, GBR)
,
DAS Sankha Dip
(Univ. Sheffield, Sheffield, GBR)
,
ZHANG Shiyong
(Univ. Sheffield, Sheffield, GBR)
,
TAN Chee Hing
(Univ. Sheffield, Sheffield, GBR)
,
DAVID John P. R.
(Univ. Sheffield, Sheffield, GBR)
,
GAUTAM Nutan
(Univ. New Mexico, New Mexico, USA)
,
KIM Hasul
(Univ. New Mexico, New Mexico, USA)
,
PLIS Elena
(Univ. New Mexico, New Mexico, USA)
,
KRISHNA Sanjay
(Univ. New Mexico, New Mexico, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7838 ページ： 783814.1-783814.8 発行年： 2010年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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