文献
J-GLOBAL ID:201102257870950684
整理番号:11A0866256
ゾル-ゲル法で作製した高k SrTa2O6薄膜の電気的性質の厚み依存性
Thickness Dependence of Electrical Properties for High-k SrTa2O6 Thin Films Fabricated by Sol-Gel Method
著者 (6件):
LU Li
(Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN)
,
NISHIDA Takashi
(Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN)
,
ECHIZEN Masahiro
(Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN)
,
UCHIYAMA Kiyoshi
(Tsuruoka National Coll. Technol., Yamagata, JPN)
,
URAOKA Yukiharu
(Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN)
,
URAOKA Yukiharu
(JST-CREST, Saitama, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
50
号:
3,Issue 2
ページ:
03CA05.1-03CA05.5
発行年:
2011年03月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)