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文献
J-GLOBAL ID：201102258328531035
整理番号：11A0467186
熱インプリンティングプロセスを用いた蛾眼反射防止ナノ構造を有するマイクロレンズアレイの製作
Fabrication of micro-lens arrays with moth-eye antireflective nanostructures using thermal imprinting process
OH S.S.
(Electronics and Telecommunications Res. Inst. (ETRI), Daejeon, KOR)
,
CHOI C.-G.
(Electronics and Telecommunications Res. Inst. (ETRI), Daejeon, KOR)
,
KIM Y.-S.
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 87 号： 11 ページ： 2328-2331 発行年： 2010年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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