文献
J-GLOBAL ID:201102259088657091
整理番号:11A1024739
フェムト秒レーザーパルスを用いた黒シリコンの直接生成
Direct creation of black silicon using femtosecond laser pulses
著者 (2件):
VOROBYEV A.y.
(The Inst. of Optics, Univ. of Rochester, Rochester, NY 14627, USA)
,
GUO Chunlei
(The Inst. of Optics, Univ. of Rochester, Rochester, NY 14627, USA)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
257
号:
16
ページ:
7291-7294
発行年:
2011年06月01日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)