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文献
J-GLOBAL ID：201102259309488117
整理番号：11A0791602
微細加工用レジスト向け新素材・材料の開発
Development of Novel Resist Materials for Micro-lithographic Patterning
森一
(和歌山県工技セ)
,
野村英作
(和歌山県工技セ)
,
細田朝夫
(和歌山県 商工観光労働部)
,
三宅靖仁
(和歌山県工技セ)
,
谷口久次
(和歌山県工技セ)
資料名：
有機合成化学協会誌
(Journal of Synthetic Organic Chemistry, Japan)
巻： 69 号： 4 ページ： 403-412 発行年： 2011年04月01日
JST資料番号： F0383A ISSN： 0037-9980 CODEN： YGKKAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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