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文献
J-GLOBAL ID：201102259789883991
整理番号：11A0914057
干渉性フェムト秒レーザ加工による10nm以下の超微細構造の発生
Generation of superfine structure smaller than 10nm by interfering femtosecond laser processing
NAKATA Y.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MOMOO K.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
HIROMOTO T.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MIYANAGA N.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7920 ページ： 79200B.1-79200B.9 発行年： 2011年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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