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文献
J-GLOBAL ID：201102261905093582
整理番号：11A0411451
プラズマ増強化学蒸着における単層カーボンナノチューブの選択成長のパラメータ研究
Parametric Study for Selective Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
NOZAKI Tomohiro
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
KARATSU Takuya
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
YOSHIDA Shinpei
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
OKAZAKI Ken
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 50 号： 1,Issue 2 ページ： 01AF03.1-01AF03.5 発行年： 2011年01月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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