文献
J-GLOBAL ID:201102264797344750
整理番号:11A0096748
損失でのPb(Zr,Ti)O3/SiN片持ちはりのダイナミック解析的モデリングとピエゾ電気的特性化
Dynamic analytical modelling and piezoelectric characterization of a Pb(Zr, Ti)O3/SiN cantilever with losses
著者 (8件):
ARNDT G
(LETI, CEA, GRENOBLE, FRA)
,
DEFAY E
(LETI, CEA, GRENOBLE, FRA)
,
LE RHUN G
(LETI, CEA, GRENOBLE, FRA)
,
REY P
(LETI, CEA, GRENOBLE, FRA)
,
PERRUCHOT F
(LETI, CEA, GRENOBLE, FRA)
,
AID M
(LETI, CEA, GRENOBLE, FRA)
,
LIU L
(Freescale Semiconductor, AZ, USA)
,
MILLER M
(Freescale Semiconductor, AZ, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
20
号:
11
ページ:
115019,1-8
発行年:
2010年11月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)