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文献
J-GLOBAL ID：201102266702661153
整理番号：11A1249951
thiol-yne系に基づくEUVネガ型レジスト
EUV Negative Resist Based on Thiol-Yne System
SHIRAI Masamitsu
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
MAKI Koichi
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
OKAMURA Haruyuki
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
KANEYAMA Koji
(Semiconductor Leading Edge Technol., Inc., Ibaraki-ken, JPN)
,
ITANI Toshiro
(Semiconductor Leading Edge Technol., Inc., Ibaraki-ken, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7972 号： Pt.1 ページ： 79721E.1-79721E.8 発行年： 2011年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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