文献
J-GLOBAL ID:201102271084047434
整理番号:11A0190166
張出しを有するナノパターンの一般化フーリエ解析
Generalized Fourier analysis for nanopatterns with overhangs
著者 (1件):
CASTEZ M. F.
(Universidad Nacional de La Plata, La Plata, ARG)
資料名:
EPL
(EPL)
巻:
89
号:
2
ページ:
28001.P1-28001.P6
発行年:
2010年01月
JST資料番号:
D0701B
ISSN:
0295-5075
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)