文献
J-GLOBAL ID:201102271096274487
整理番号:11A0136073
音響-光偏向を組み合わせた統計的ランダム位相クロックによる超高精密形状測定
Ultra-precision geometrical measurement technique based on a statistical random phase clock combined with acoustic-optical deflection
著者 (4件):
EKBERG Peter
(Micronic Mydata AB, Taeby, SWE)
,
EKBERG Peter
(KTH, Stockholm, SWE)
,
STIBLERT Lars
(Micronic Mydata AB, Taeby, SWE)
,
MATTSSON Lars
(KTH, Stockholm, SWE)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
21
号:
12
ページ:
125103,1-7
発行年:
2010年12月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)