文献
J-GLOBAL ID:201102272213273965
整理番号:11A0915580
走査型容量顕微鏡に基づくC-V測定の横方向分解能
On the lateral resolution of scanning capacitance microscope based C-V measurements
著者 (1件):
LANYI S.
(Inst. of Physics, Slovakian Acad. of Sci., Bratislava, SVK)
資料名:
Ultramicroscopy
(Ultramicroscopy)
巻:
110
号:
10
ページ:
1343-1348
発行年:
2010年09月
JST資料番号:
W0972A
ISSN:
0304-3991
CODEN:
ULTRD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)