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文献
J-GLOBAL ID：201102272819612544
整理番号：11A0571810
CoFeB-MgO磁気トンネル接合部の特性へのRF-マグネトロンスパッタの間のO-イオンビーム照射の効果
Effect of O- Ion Beam Irradiation during RF-Magnetron Sputtering on Characteristics of CoFeB-MgO Magnetic Tunnel Junctions
ONO Kazunaga
(ULVAC, Inc., Shizuoka, JPN)
,
OHSHIMA Norikazu
(NEC Corp., Sagamihara, JPN)
,
GOTO Kazuya
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
YAMAMOTO Hiroki
(ULVAC, Inc., Shizuoka, JPN)
,
MORITA Tadashi
(ULVAC, Inc., Shizuoka, JPN)
,
KINOSHITA Keizo
(NEC Corp., Sagamihara, JPN)
,
ISHIJIMA Tatsuo
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TOYODA Hirotaka
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 50 号： 2 ページ： 023001.1-023001.4 発行年： 2011年02月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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