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文献
J-GLOBAL ID：201102272866241309
整理番号：11A0474255
種々の電気伝導度で定義されるパターンを有する平押し金型を用いたナノ電極リソグラフィ
Nanoelectrode lithography using a flat mold with a pattern defined by different conductivities
YOKOO A.
(NTT Corp., Kanagawa Pref., JPN)
,
NAMATSU H.
(NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 87 号： 5-8 ページ： 931-935 発行年： 2010年05月
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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