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J-GLOBAL ID：201102278053639311 整理番号：11A1123541

狭ギャッププロセスを利用した単結晶シリコンマイクロエレクトロメカニカルシステム共振器の評価

Evaluation of a Single-Crystal-Silicon Microelectromechanical Systems Resonator Utilizing a Narrow Gap Process

著者 (4件)：

HASHIMOTO Keita

(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)

ITO Kouzaburo

(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)

TANIGAWA Hiroshi

(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)

SUZUKI Kenichiro

(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)

資料名：

Japanese Journal of Applied Physics (Japanese Journal of Applied Physics)

巻： 50 号： 6,Issue 1 ページ： 067201.1-067201.8 発行年： 2011年06月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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