文献
J-GLOBAL ID:201102278277973276
整理番号:11A1577725
大範囲の計測学的原子間力顕微鏡において自己製作した長いチップを用いる深い溝構造の測定
Measurement of deep groove structures using a self-fabricated long tip in a large range metrological atomic force microscope
著者 (4件):
WANG S H
(National Metrology Centre, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
TAN S L
(National Metrology Centre, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
XU G
(National Metrology Centre, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
KOYAMA K
(Namiki Precision Jewel Co., Ltd, Tokyo, JPN)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
22
号:
9
ページ:
094013,1-10
発行年:
2011年09月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)