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文献
J-GLOBAL ID：201102279103334947
整理番号：11A0306376
シミュレーテッドアニーリングによるOPCレシピ最適化
OPC Recipe Optimization Using Simulated Annealing
DESOUKY Tamer
(Mentor Graphics, Cairo, EGY)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7823 号： Pt.2 ページ： 78233N.1-78233N.9 発行年： 2010年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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