文献
J-GLOBAL ID:201102279403826400
整理番号:11A0553849
低エネルギーイオンビーム浸食中にSi表面に形成される自己組織化ナノ構造
Formation of self-organized nanostructures on Si surfces during low energy ion beam erosion
著者 (4件):
CHEN Zhi-li
(Xi’an Technological Univ., Xi’an, CHN)
,
CHEN Zhi-li
(Xidian Univ., Xi’an, CHN)
,
LIU Wei-guo
(Xi’an Technological Univ., Xi’an, CHN)
,
XU Xiao-hui
(Xi’an Technological Univ., Xi’an, CHN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7657
ページ:
76570Q.1-76570Q.5
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)